超精密零件加工在尺寸（cùn）精度（dù）、形狀精度、表麵質量等多個方麵（miàn）都有極其嚴格的要求，以下是（shì）具體（tǐ）介紹：
尺寸精度
公（gōng）差範圍極小（xiǎo）：超精（jīng）密零件的尺寸公差通常被控製在微米（μm）甚至納米（nm）級別。例如，在航（háng）空航天（tiān）領域（yù），一些發動（dòng）機葉片的關鍵（jiàn）尺寸公差（chà）可（kě）能要（yào）求控製在 ±5μm 以（yǐ）內；在半（bàn）導體製造（zào）中，芯片製造所使用的光刻掩膜版的線條寬度公差可達（dá）到 ±10nm 左右。
一致性要求高：對於一批超（chāo）精密零（líng）件，不僅單個零件要滿足高精度要求，而且零件之間（jiān）的尺寸（cùn）一（yī）致性也（yě）必須極高。以手機攝像頭中的微型光學鏡片為（wéi）例，同一批次鏡片的直徑尺寸偏差要控製在極小範圍內，否則會影響攝像頭的成像質（zhì）量。
形（xíng）狀精度
平麵度：要求零（líng）件的表麵平整（zhěng）度（dù）極高，例如，精密（mì）光（guāng）學平麵鏡的平麵度可能要求達到 λ/10 甚至更（gèng）高（λ 為光的（de）波長，通常取 632.8nm），即（jí）平麵的起伏偏差在幾十納米以內。
圓度：像航空發（fā）動機的渦輪軸等關鍵零件，其圓度誤差通常要（yào）求控製在 0.001mm 以下，以確（què）保在高速旋轉時的穩定性和可靠性。
圓柱度：對於一（yī）些高精度的液壓（yā）油缸、氣動元件等，圓柱度要求嚴格，可能在 0.002mm - 0.005mm 之間，以保證良好的密封性和（hé）運動精度。
位置精度（dù）
同軸（zhóu）度：在汽車發動機的曲軸加工中，各軸頸的同（tóng）軸度誤（wù）差一般要求控製在（zài） 0.02mm - 0.05mm 之間（jiān），否則會影響發動機的動力輸出和穩定性。
垂直度與平行度：在精密模具製造中，模具的上下（xià）模板之間的平行度（dù）誤差通常要求控製在 0.05mm 以內，以保證模具在合模時的（de）精度，從而生產出高質量的產品。
表麵質量
表麵粗（cū）糙度：超精密零件（jiàn）的表麵粗糙度一般（bān）要求達到 Ra0.1μm - Ra0.01μm 甚至更低。如硬盤的磁頭滑塊表麵，為了減少與磁盤的摩擦和提高讀寫性能，表麵粗糙度可（kě）能達到 Ra0.005μm 左右。
表麵完整性：除了粗糙度外，還要求表麵無微觀裂紋、劃痕、毛刺、氧化層等缺陷。例（lì）如在光學鏡片的加（jiā）工中，表麵任何微（wēi）小的劃痕或裂紋（wén）都可能導（dǎo）致光（guāng）線散射，影響光學性能。
材料性能一致性
微觀組織均勻性：零件材料的（de）微觀組織（zhī）如晶（jīng）粒大小（xiǎo）、相組成等要均勻一（yī）致。以（yǐ）高強（qiáng）度合金（jīn）鋼製（zhì）造的航空零部件（jiàn）為例，若材（cái）料微觀組織不均勻，會導致（zhì）零件在受（shòu）力時出現局部應力集中，降低（dī）零件的整體性能和使用壽命。
性能穩定性：材料的力學性能（néng）、物理性能（néng）等要穩定。在電子元器件（jiàn）製造中，用於製造芯片的半導體材料，其電阻率、載流子遷移率等性能參數必須在嚴格（gé）的範圍內，否（fǒu）則會（huì）影響芯片的性能和可靠性。
裝（zhuāng）配精度
間隙配合精度：在機械手（shǒu）表的機芯裝配中，齒輪與軸之間（jiān）的間隙配（pèi）合精（jīng）度通常要（yào）求控製在 0.01mm - 0.03mm 之間，以保證手表的走時精度。
過盈配合精度：在汽車發動機的活塞與活塞銷裝配中，過盈量一般控製（zhì）在 0.03mm - 0.05mm 之間，確保（bǎo）活塞與活塞銷之間既能（néng）傳遞動力，又能在不同（tóng）工況下保持良好的工（gōng）作（zuò）狀（zhuàng）態。
